二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9362227 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK V光致抗蚀剂设备是一种精密的系统，用于制造具有精密电路布局和设计的处理器。该装置能够向各种尺寸的基板提供精确、高分辨率的光刻胶曝光。由于其简单的维护和操作，以及高吞吐量和创新的设计特点，是IC生产的热门厂商选择。这台机器有一个先进的设计，它可以处理比传统系统更大的基板。其精密的脚步机构可容纳尺寸达14英寸的基板，足迹小至2英寸。它还可以提供更高的分辨率,在XY方向上可达到3 μ m和5.6 μ m。TEL Mark V光刻胶工具具有强大的激光扫描资产,它利用高分辨率、高频UV激光器将光刻胶完美地暴露在基板上。激光模型包括一个红外笼子，以保护激光免受曝光过程中产生的热量。激光设备还有助于确保光致抗蚀剂的均匀沉积。该系统还配有冷却塔，用于在曝光过程中冷却基板。这有助于防止基板翘曲或燃烧，这会导致不良的暴露结果。冷却塔也有助于暴露过程的均匀性。TOKYO ELECTRON MARK-V光致抗蚀剂单元可配备自动对焦机，使刀具在不同的环境条件下能自动调整曝光参数以获得最佳效果。此功能对制造商非常有用,因为它需要较少的手动工作并确保一致的结果。该资产还配备了一台运行复杂图像处理软件的车载计算机。此软件允许模型自动识别和纠正制造过程中的错误,从而提高产品质量。计算机还从暴露过程中收集数据进行分析，以使制造商能够进一步改进其过程。总之，MarkV光致抗蚀剂设备是制造各种IC的精密可靠的解决方桉。其先进的设计、强大的激光系统和创新的特性使其成为制造商的热门选择。其精确的分辨率和快速的吞吐量提供了卓越的生产质量，而其自动对焦功能、冷却塔和图像处理软件使其成为一个非常人性化的单元。