二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9384737 待售

"TEL/TOKYO ELECTRON MARK V"光刻设备是一种先进的光刻系统，主要用于微电子制造。该装置旨在通过使用沉积和蚀刻技术在半导体晶片上产生模式。TEL Mark V机包含了旨在提高微电子元件处理性能的全方位功能。该工具由三个主要组件组成-基板处理单元（SPU）、分辨率和曝光组件（REC）以及主要控制资产（PCS）。SPU设计用于处理多种材料,包括光刻胶、光掩模和其他薄膜材料。此组件的设计目的是确保光刻步骤能够精确控制过程的各个方面,包括温度、压力和湿度。REC组件通过调整过程的分辨率来促进光刻模式。它还调整暴露在基板上的模式。PCS组件是TOKYO ELECTRON MARK-V设备内所有设备的主要自动控制模型。它通过监控每个组件的性能来确保成百上千个基板之间的一致性。MARK-V系统还包含几个专门的工具，用于监测和分析过程中收集的数据。这包括校准控制、基板映射、峰值功率映射和参数成像。这种数据收集有助于确保在制造过程中保持质量和性能。最后，TEL/TOKYO ELECTRON MARK-V提供了一个在尝试製造微电子元件时为了精度和可靠性而设计的单元。它可以测量低至纳米距离特征的精度,并准确记录曝光时间以获得最佳性能。先进子系统的结合保证了微电子制造过程的可重复性和可靠性。