二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9396047 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON MARK V是一款为高生产率和优越的工艺控制而设计的光刻胶设备。它提供了广泛的功能,同时允许快速、高效和精确的操作。该系统利用光谱选择性成像技术，在一次曝光中提供具有高密度模式元素的高分辨率图像。该单元由抗蚀剂曝光机、抗蚀剂加工工具、晶圆转移资产和晶圆级截面组成。抗蚀剂曝光模型包括可移动数字成像板、多通道曝光源、快门设备和精密的控制系统。抗蚀剂处理单元提供高分辨率开发和先进的紫外线成像功能。晶圆转换机使晶圆能够从一个工作站快速传输到另一个工作站。晶片级部分设有精密级，以确保在整个处理周期中准确、可重复放置晶片。TEL Mark V提供卓越的图像分辨率和曝光源灵活性,以及与各种晶圆类型的高级对齐功能。该工具具有自动晶片对准功能,可消除手动对准,并确保对曝光面罩进行精确注册。曝光资产也有多种不同的曝光源，包括激光和光源。此外，该模型还具有先进的控制能力，能够高效制造各种半导体集成电路。该设备除了具有高精度功能外,还具有复杂的故障感测功能,可以检测和诊断可能影响处理性能的任何故障或不规则性。TOKYO ELECTRON MARK-V还配备了数据记录系统，用于监控和存储温度、压力以及其他数据，用于质量控制和分析。该单元还可以与各种外围设备连接，如模式发电机和处理系统。总体而言，Mark V在生产复杂的半导体和光敏产品方面提供了卓越的性能和可靠性。通过利用其先进的成像和控制功能,该机器实现了卓越的过程控制,并产生了出色的生产效率。该工具旨在确保光刻胶工艺的所有部分都得到准确有效的处理，大大减少了与芯片制造和设计相关的时间和成本。
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