二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V8 #293643487 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK V8光刻设备是TEL设计的最先进的光刻系统。该装置设计和制造用于硅片的半导体制造过程。该机器采用专有的自动化过程控制软件，为用户提供广泛的功能以及对过程参数的密切监控。这得益于可以远程访问的内置数据记录器。这允许用户检查质量并确保从晶圆到晶圆的过程一致性。该工具利用了最先进的200毫米相机资产,提供了高达16英寸的大型成像场。这台相机拍摄每个曝光晶片的极高分辨率照片，详细检查曝光区域。该模型还包括一个综合激光测量设备，可以在光刻工艺之前、之中和之后进行测量。TEL Mark V8支持多种不同的光刻胶材料，包括DUV光刻胶、I-Line光刻胶和248 nm深紫外线（DUV）光刻胶。这些材料使用高精度的自动分配系统应用于晶片。一旦应用了所需的材料，该单元就可以配置为执行各种不同的光刻工艺，包括接触和投影印刷、软硬烘烤和曝光后烘烤。此外，该机还能提供良好的空气环境控制，减少颗粒污染，并提供超低振动环境。这是使用高端空气过滤工具和先进的真空控制资产实现的。这种模式需要设备齐全的设施和知识渊博的工作人员才能正常运作，但其设计目的是通过自动化日常功能来减少时间和劳动力。设备每小时最多可处理200个晶圆，允许进行大容量应用。TOKYO ELECTRON MARK V8是一款功能强大、用途广泛的光刻胶系统，提供了电路板和微电子元件大批量生产所必需的特性和功能。