二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark Vz 8000WC #9148322 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Mark Vz 8000WC是一款最先进的光刻设备，设计用于生产半导体、平板显示器、纳米技术和光电工业中的精密薄膜。它具有多项尖端技术和先进功能,使用户能够实现亚微米精度和高吞吐量。该8000WC采用了"干法"功能，一种先进的薄膜沉积技术。该技术应用真空蒸气沉积（VVD）来有效地将均匀的光敏材料保形涂层沉积到基板上。通过利用高温和等离子体产生的自由基，这一过程能够获得准确、可重复和低成本的薄膜沉积结果。该8000WC提供多种基于干燥工艺的沉积配置和温度控制，以达到所需的薄膜精度和吞吐量水平。该系统包括一个图形用户界面（GUI）,其中包含易于使用的命令菜单和沉积过程中预期内容的彩色屏幕截图。它还配备了垂直长宽比功能，可以让用户准确控制影片的均匀性，并最大限度地减少非均匀性。此外，该单元还具有边坡补偿能力，允许给定基板的倾斜角发生变化。该8000WC还提供变频（23至300 MHz）高功率热源,以提高工艺稳定性和性能。它可以用于处理大小基板，具有相同的精度和均匀性。最后,其先进的图像质量调整（IQA）功能为增强对比度灵敏度和色度灵敏度提供了定制的配方参数。总体而言,TEL Mark Vz 8000WC Photoresist Machine提供了易于使用的特性、高精度和可靠的吞吐量的强大组合,使其成为生产半导体、平板显示器、纳米技术和光电子的光刻工艺中的合适选择。