二手 TEL / TOKYO ELECTRON MARK Vz #293587285 待售

TEL / TOKYO ELECTRON MARK Vz
ID: 293587285
晶圆大小: 6"
(2) Coater / (2) Developer system, 6".
TEL/TOKYO ELECTRON MARK Vz是一款由全球半导体生产和特种产品市场领先者TEL(TOKYO ELECTRON)製造的光阻设备。TEL MARK-VZ是一种先进的涂层、图像传输和薄膜沉积系统,旨在在广泛的应用中实现精确、可靠、高效的光刻胶处理。这一单元采用了最新的涂层、成像和薄膜沉积技术,使晶圆附着力和精密涂层能够在复杂的基板上实现。TOKYO ELECTRON MARK V-Z服务于广泛的工业需求,包括製造多层电容器、医疗器件、光电器件、感应器等薄膜器件。MARK-VZ作为一种工业级的光刻机,提供了可靠性、可重复性和精确控制的商标。此外,该工具还提供各种涂层参数(如喷涂速率、薄膜厚度、喷涂图样和其他特征),以实现高效、精确的晶圆粘合。TOKYO ELECTRON MARK Vz采用闪光蒸发薄膜涂层、静电喷涂涂层和自动图像传输系统等先进方法,确保了最佳性能和准确性。TEL/TOKYO ELECTRON MARK V-Z具有一次可装载多达十二个350 mm晶片的开槽光刻室和许多其他特性,使其适合各种光刻加工需要。它还包括自动薄膜沉积、雾化喷涂涂层、自动晶圆处理器、实时晶圆分析、自动图像传输和自动视觉系统。此外,它还配备了各种可定制的参数,可用于根据每个项目的具体要求调整其性能。TEL/TOKYO ELECTRON MARK-VZ还拥有实时晶圆分析资产,用于评估晶圆特性和确保准确高效的处理。该模型能够检测晶圆缺陷,测量晶圆厚度和直径,评估晶圆的整体质量。此外,TEL MARK V-Z还包括许多过程监控功能,如图像库、配方设置、自动在线配方更改和实时数据显示。这些功能使用户能够更准确地了解工艺参数及其产生的结果。总之,TOKYO ELECTRON MARK-VZ光阻设备是工业级制造的可靠高效工具。凭借其先进的涂层、成像和薄膜沉积能力,它非常适合广泛的生产需求。此外,它的可自定义参数和实时晶圆分析功能使其成为确保准确和精确结果的理想工具。
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