二手 TEL / TOKYO ELECTRON MARK Vz #293587286 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK Vz是日本公司TEL生产的光刻蚀刻设备，几十年来一直走在半导体制造领域创新的前列。TEL MARK-VZ系统是为金属蚀刻、半导体晶圆线光刻、半导体器件制造等工艺量身定制的。TOKYO ELECTRON MARK V-Z单元包含一个激光切削工具，使用基于激光的加工技术将金属精确蚀刻到掩模或基板上。这项技术通常用于创建特征大小为4纳米的图样,提供精确、高分辨率的图像,可用于各种应用,如微机械加工。还包括集成视觉机，以进一步确保准确性和详细的可重复性。该工具还包含一个对流回流炉，用于半导体器件的制造过程。这个烤箱提供了一个均匀的加热环境，在500°C的温度下充值，这样小型电子元件就可以安全准确地贴在基板上。这一过程对于创建半导体器件，特别是集成电路中使用的器件至关重要。TEL MARK Vz资产还具有深紫外线照明模型,用于创建基板上缺陷最小的高密度图样。此过程对于创建无缺陷且准确反映所需模式的高密度模式至关重要。一种自再生的光致抗蚀剂化学可以确保每次使用都具有一致的高分辨率模式。总体而言，MARK V-Z为半导体器件制造、金属蚀刻和光刻提供了一个创新而准确的解决方桉。MARK-VZ设备结合了先进的激光切割能力、对流回流炉和深紫外线照明，旨在为半导体行业提供最精细的图桉。系统不断升级，以确保高精度、可重复执行且缺陷最小。