二手 TEL / TOKYO ELECTRON MARK Vz #293591400 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK Vz是设计用于半导体和光掩模制造工艺的全自动光刻设备。该系统采用五轴机器人旋转装置，可更快、更精确地控制过程。机器人能够旋转高达1800 RPM，给用户更多的对处理需求的控制。该单元还配备了内置的自动视觉机器，采用跟踪技术，可以在工作表面上更精确地放置光掩模。视觉工具还使资产能够检测流程配方参数，从而能够更快、更准确地控制流程。TEL MARK-VZ型号还具有高精度的微调驱动器，提供了一致甚至均匀的光敏沉积速率。这样可以确保整个晶片上均匀的层厚度。除了高精度的微调驱动器，设备还包括一个精密喷雾器，通过PLC控制。该系统包括一个内置的图像分析功能，使设备能够即时调整进程参数。这样可以确保更高的准确性和过程一致性。机器还包括一些过程监测、反馈和控制系统。这包括温度和压力指标，在过程进行时提供反馈。它还包括一个浓度监测器，它提供关于光刻胶配方的反馈。最后，TOKYO ELECTRON MARK V-Z工具包含了一个用户介面来设定和监控流程。该用户界面设计方便操作，可快速设置和监控流程参数。界面还提供了有关工艺参数的详细信息,以帮助确保随着时间的推移获得准确和一致的结果。