二手 TEL / TOKYO ELECTRON MARK Vz #293821346 待售

TEL / TOKYO ELECTRON MARK Vz
ID: 293821346
(1) Coater / (2) Developer system.
TEL/TOKYO ELECTRON MARK Vz是一种高精度的光刻设备,为广泛的光刻工艺提供高精度和速度。它提供高达10微米的分辨率和高吞吐量,利用多层系统连续薄膜曝光。集成光刻轨迹以一系列创新组件为特色,包括全自动激光扫描仪、激光涂层、抗涂层单元,以及独立控制的控制器。激光扫描仪提供了卓越的对准精度和对激光束位置的控制。激光涂层机可确保光敏涂层在基板上的均匀性,而耐光涂层工具则可实现精确的厚度和均匀性。光刻控制单元(PCU)是光刻过程的关键组成部分。它负责控制光刻阶段,结合曝光时间和焦点等关键参数,以及控制激光扫描阶段。资产的核心是TEL/TOKYO TEL MARK-VZ软件,旨在最大限度地提高生产力。它为光刻工具提供精确的曝光控制以及用户友好的用户界面。TOKYO ELECTRON/TOKYO TOKYO ELECTRON MARK V-Z光刻胶型号还包含了一次曝光法等多项先进特性,使分辨率更锐利。光刻胶设备还允许进行高级模式生成和测试,以及用于创建掩码的自定义库。此外,该系统是可扩展的,为多层制造提供了灵活性。它还包括温度控制器,为最佳光刻工艺产生高度精确的温度结果。TEL/TOKYO ELECTRON/TOKYO TEL/TOKYO ELECTRON MARK-VZ光刻装置具有这些先进的功能,可实现极其精确和高效的光刻技术,达到更高的产量和可靠性,以适应客户的要求。它提供了无与伦比的精确度和准确性,使高质量产品的生产在商业上可行。
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