二手 TEL / TOKYO ELECTRON MARK Vz #293828918 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON MARK Vz是一种用于电子束光刻和蚀刻的半导体器件制造的光刻设备。该系统由真空室、快门、离子枪和光学显微镜组成。真空室设计为保持高真空环境。使用快门分散电子枪的光束，可以微调10 nm或更高分辨率。离子枪也包括在腔室清洁单元中。采用光学显微镜对样品进行成像，监测光束光斑大小和形状。TEL MARK-VZ可实现分辨率超过10 nm的亚微米特性的高分辨率直接写入。它提供了一个完整的光致抗蚀剂阵列工具包，以创建具有多层特征的复杂阵列形状。图桉特征可以与1 µm的精度对齐。通过使用多通道对齐机，可以对齐多种模式以高精度相互匹配。TOKYO ELECTRON MARK V-Z也能够以较快的扫描速度和较短的射频脉冲时间进行高速电子光刻。该工具可用于各种应用，例如用于创建光学蒙版、薄膜晶体管、MEMS器件和集成电路。特别是,它为MEMS设备提供高分辨率和高速模式写入。该资产高度可定制,可用于多个应用程序和材料。TOKYO ELECTRON MARK Vz是一种可靠、高效的器件制造光刻胶模型.它专为高吞吐量和高分辨率阵列而设计。该设备具有先进的功能,能够安全、准确地创建复杂的微观和纳米级功能。它具有高度可定制性,适用于各种设备制造应用。
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