二手 TEL / TOKYO ELECTRON MARK Vz #9033680 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK Vz是一款为微加工应用而设计的先进光刻设备。该系统由专用扫描仪、控制器和光敏处理室组成。该扫描仪利用半导体光刻技术对感光材料进行精确制图。这个单元使用了一个二极管激光器，该激光器被引导通过圆柱形透镜来产生高度聚焦的光束。光学机器用来将光敏材料暴露在激光下，以产生所需的图桉。控制器单元包含设置光刻处理会话所需的所有功能。它具有图形用户界面,具有各种参数,如刀具配置、曝光持续时间和阵列速度。光刻胶加工室是该资产的主要组成部分，设计用于光刻胶的干式和湿式加工。它为光敏材料的曝光提供了精确的控制条件。它配备了曝光时间、温度、压力、湿度等一系列可调变量。此外,它还具有安全功能,包括电子压力控制、自动温度监测和一系列内置安全机制,以确保光敏材料的安全加工。TEL MARK-VZ是为了满足微加工应用的高需求而设计的。它提供了高通量成像技术,其分辨率比工业级系统高得多,并促进了设备制造中至关重要的各种光刻胶工艺。该模型非常适合于微机电系统（MEMS）和光伏系统等半导体应用。