二手 TEL / TOKYO ELECTRON MARK Vz #9111395 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK Vz是一款光刻加工设备，旨在高效蚀刻、成像和清洁表面。它为使用最先进的组件、过程和软件的光刻胶处理提供了完整的解决方桉。该系统采用二合一大气控制，通过真空和氮气联合控制确保一致性和准确性，以实现最佳成像、蚀刻和沉积工艺结果。光致抗蚀剂是一种特殊的材料，用于阵列集成电路。它在半导体工业中用于在硅基板上应用精确的图样。该单元由几个部件组成，包括一个工艺室和淋浴总成、带有头部放电单元的反应堆、纳米氨酸盒、工艺气体控制和软件。该系统还提供高频和HCl湿蚀刻,用于光刻图样、蚀刻和清洁过程。HF蚀刻工艺从硅基板上除去光致抗蚀剂，还对基板进行清洁，为后续步骤做好准备。HCl蚀刻用于浅层蚀刻，允许精确的深度控制。光刻卡带机具有提供可变厚度的能力，可用于从浅到深的蚀刻，包括预蚀刻和后蚀刻。它还具有独特的钝化特性，在涂覆基板时能提高热色散性能。对该工具的工艺气体进行调节，以确保最佳成像性能、蚀刻和沉积工艺以及基板保护。该资产具有各种方便用户的流程控制软件，例如带有图形用户界面的流程控制单元和流程室安全监控器，以确保安全的工作环境。该模型还允许从远程终端进行配方编辑。这些功能能够快速准确地设置过程参数,从而获得一致和准确的结果。TEL MARK-VZ光敏处理设备最大限度地提高了精度，大大缩短了光敏处理任务的周期时间。它结合了高效的组件、过程和软件,使其成为表面成像、蚀刻和清洁应用的理想解决方桉。