二手 TEL / TOKYO ELECTRON MARK Vz #9142614 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK Vz是为各种应用而设计的最先进的光刻设备，例如：光刻、薄膜沉积和平面化。作为MARK.V的更新版本,此光刻胶系统反映了基于TEL专业知识和多年艰苦经验的精密工艺工程技术的结合。机器的核心是一个精密的控制器，它能够同时管理多达八个处理模块，允许在一次运行中使用多个过程配方。它采用实时、三维地形处理和监控，配有基于DOS的离线程序员，使用户可以轻松编程、监控和调整处理参数。TEL MARK-VZ配备了先进的7轴机器人手臂单元，能够进行精确的分配运动，同时在要求最苛刻的大衣和光刻过程中提供可靠的自动化。此外,它还提供动态范围的运动控制参数,使用户能够针对每个特定过程对机器人的运动进行精确编程。该机还使用双束电子束光刻（EBL）源（工作频率为50 KeV），以确保精确的图样分辨率和高精度，并有效应对晶圆上小临界尺寸和细线宽度的挑战。TOKYO ELECTRON MARK V-Z还配备了用于植入过程的离子源，提供了最佳端点测量和材料层的紧密保形均匀性。最后，高精度的光学测量和工艺监测特点提供了优越的缺陷和生产产量。该工具先进的多传感器计量资产使用光学和电气测量来测量临界特性,如薄膜厚度、抗厚度、阵列尺寸、步长和表面均匀性。集成的非接触式四波长椭球测量学模型还能够对地形变化进行有效的过程表征和验证。综上所述，TOKYO ELECTRON MARK Vz为研发和生产应用提供了功能强大、自动化和精确的光刻设备。利用正确的技能和经验,该系统可以确保在各种过程中获得可靠和精确的结果,最终提高产品产量。