二手 TEL / TOKYO ELECTRON MARK Vz #9148231 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK Vz是一种用于在晶圆上创建微加工特征的光刻设备。该系统结合了照明和投影光学，能够以高精度和精确度将先进的设计暴露在基板上。曝光单元分辨率为40微米，可曝光尺寸达200毫米的基板。TEL MARK-VZ使用对能量敏感的光致抗蚀剂来暴露底物。这种敏感的材料会对光线照射产生反应，使特征能够精确地放置在基板上。然后在专门的显影剂中处理这种光致抗蚀剂，该显影剂除去暴露的光致抗蚀剂以显示下面的结构。TOKYO ELECTRON MARK V-Z具有多种曝光模式，如矢量扫描、接触打印、动态扫描曝光等等。这为用户提供了在基板上生成高质量结构的多种选择。此外，该机器还配备了高精度运动工具和光学设备，用于在曝光期间精确调整特征。此外，TEL/TOKYO ELECTRON MARK-VZ拥有先进的软件包，允许用户对曝光参数和特性进行编程，并控制运动模型进行精确对准。该设备还配备了图像检查工具，可以检测晶圆上的缺陷并帮助确保高性能制造。MARK-VZ是一种功能强大、先进的光刻胶系统，用于在基板上生成微细结构。凭借其高分辨率的曝光能力、精确的运动控制以及先进的软件功能，该单元能够创造出高度精确和精确的微型结构。