二手 TEL / TOKYO ELECTRON MARK Vz #9148232 待售
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ID: 9148232
优质的: 1996
Coater & developer
3D (E2 nozzle+Back rinse)
7HP
3Col
Right
Stand alone
1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON MARK Vz是为微电子和纳米技术工业中使用的薄膜的自旋涂层和成像而设计的全自动光阻设备。该系统包括两个主要组件:一个精密自动旋转涂层和一个自动成像仪.Precision Automated Spin Coater是一种高精度的工具,设计用于将光刻胶薄膜旋转到半导体材料上。这台机器有一个旋转的杯子,里面装有光刻胶.它由可编程逻辑控制器(PLC)控制,可确保高精度和可重复结果。PLC用于编程旋转速度、持续时间和转数等参数。这让使用者每次都可以自订其涂层,以取得一致且可接受的结果。自动成像仪是一种高分辨率成像装置,用于拍摄涂层基板的详细图像。它使用一系列镜头、镜子和滤镜将胶片投影到数字成像平台上。这台机器具有可调的曝光时间,可以编程为捕获多种格式的图像,包括JPEG、TIFF和BMP。TEL MARK-VZ捕捉到的图像极为精确,分辨率高达200 nm。TOKYO ELECTRON MARK V-Z光致抗蚀剂工具为用户提供了一个可靠而坚固的解决方桉来满足他们的自旋涂层和成像需求。其先进的编程功能确保了非常准确和可重复的结果,而强大的成像资产使捕捉薄膜晶莹剔透的图像成为可能。对于微电子或纳米技术行业中要求涂料质量最高的人来说,这种模型是一种巨大的财富。
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