二手 TEL / TOKYO ELECTRON MARK Vz #9148326 待售

TEL（TOKYO ELECTRON）TEL/TOKYO ELECTRON MARK Vz是一种最先进的光致抗蚀剂设备，用于从芯片制造到印刷的一系列行业。光致抗蚀剂系统采用一系列专门的工艺，允许设备和材料暴露于光波中，以改变其特性。TEL MARK-VZ系统也不例外，因为它提供了极其精确、高质量的抗蚀性薄膜处理，能够为各种应用生产薄抗蚀性层。TOKYO ELECTRON MARK V-Z单元的核心是专有的Sinwave™准分子激光架构。这种超快脉冲激光器是一种非常精确的光源，以前所未有的精确度产生高度精确和极局部的辐射点。在抗蚀膜处理过程中，这种激光器被用来选择性地将薄而薄的抗蚀层暴露在强度和剂量水平上，使其能够以完全的精确度和无与伦比的重复性进行修改。TEL MARK Vz光刻机也是高度模组化的，允许使用者进一步自订工具以符合其确切规格。可以根据需要添加一系列衍射计、光源、光束扩展器、波板和其他组件,以提高性能并提供所需的精度和细节。资产还具有自动控制模型,允许设置各种参数以确保正确的薄膜形成。这包括光学元件的选择、波长和脉冲速率的设置、能量剂量的控制、光束轮廓等变量。设备还配备了闭环监控系统，具有优越的反馈，保证了最佳性能和薄膜形成一致性。简而言之，TEL/TOKYO ELECTRON （TEL） TEL/TOKYO ELECTRON MARK-VZ是一种先进的光刻装置，在抗蚀剂膜的处理上提供无与伦比的精度、精确度和重复性。Sinwave™激光体系结构和自动化控制机器的结合提供了最高水平的性能和灵活性，确保用户能够在广泛的应用中实现他们所需的精确结果。