二手 TEL / TOKYO ELECTRON MARK Vz #9206229 待售

TEL / TOKYO ELECTRON MARK Vz
ID: 9206229
晶圆大小: 4"
Clean tracks, 4".
TEL/TOKYO ELECTRON MARK Vz设备是一种先进的光刻胶处理系统,具有先进的技术,提供精确可靠的光刻胶溶液。此单元旨在实现低成本和短交货时间的产品制造。该机基于大面积处理平台,支持广泛的光刻胶选项。它包括薄膜和腔室部件等部件,这些部件经过优化以实现最佳的光敏处理。该工具还提供高分辨率的成像资产,以补偿环境,确保优越的晶片对晶片的均匀性和产量。为了可靠的光刻胶处理,TEL MARK-VZ配备了精确的层厚度监视器。该监视器可测量光刻胶层的厚度并实现精确的湿工艺控制。它还具有自动过程控制模型,该模型根据输入参数自动设置光刻胶层厚度。该设备还使用先进的激光光刻工具在光刻层上创建精确的图桉。与传统的光刻技术相比,该工具可确保高保真图桉精度,能够产生更复杂的特征。TOKYO ELECTRON MARK V-Z光刻胶系统提供出色的开环分辨率能力,具有动态分辨率能力,能够在广泛的曝光时间设置下保持恒定的分辨率值。它还提供了高级对齐单元,可提供高精度和快速对齐,以实现最高的吞吐量。该机还配备了用于分选和分离光刻胶层的高速分选机。此功能有助于简化排序过程,同时提供高质量的结果。MARK V-Z光刻胶工具是一种高可靠性、高效的光刻胶溶液。它旨在满足最苛刻的光刻要求,同时提供最大的灵活性、可靠性和成本效益。MARK Vz具有先进的特性、卓越的性能和广泛的选择,是光刻加工的理想选择。
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