二手 TEL / TOKYO ELECTRON MARK Vz #9206244 待售

TEL / TOKYO ELECTRON MARK Vz
ID: 9206244
晶圆大小: 2"
Track, 2".
TEL/TOKYO ELECTRON MARK Vz是一种光刻设备,为高精度和高精度光刻处理提供了一整套解决方桉。该系统采用高度精确的纳米压印技术,在各种基板上创建先进的图样,如硅片、玻璃和塑料。该单元提供具有出色地形的可重现层,同时保持高吞吐量。该机器能够提供广泛的暴露参数,从而使客户能够应用最适合其特定工艺要求的暴露参数。该工具的高级成像功能使用户能够获得精确的图像,而不会从光刻胶中失真。它还配备了最新的光学成像资产和精确的分析能力,以准确地确定表面特性。它还具有精确的生产控制系统,包括在线缺陷检测和自动工艺优化软件,使其生产模式更加高效灵活。该设备可用于产生多层、多种尺寸的复杂图桉。它还能够创建具有高公差和可重复性的关键组件。它还具有快速的光印过程,具有短期的样品处理时间和较低的功耗。该系统由校准、索引、图像居中、标线保持、边缘点检测、程序编辑和数据传输等自动化功能组成。此外,该装置还配备了先进的硬件,以保护光栅的性能水平免受辐射、温度波动和尘埃粒子的影响。该机还配备了精密的图像定位监视器,可以在温度变化的环境中检测子埃电平运动。TEL MARK-VZ是一种精密的光阻处理工具,为需要精密精确成像和光刻工艺的半导体和电子制造商提供完美的解决方桉。它以出色的地形提供可靠的性能,确保用户快速可靠地获得所需的结果。
还没有评论