二手 TEL / TOKYO ELECTRON MARK Vz #9217704 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK Vz是TEL的最新产品,TEL是一款顶级的光刻设备,旨在提供光刻的最高精度和精确度。TEL MARK-VZ是一个模块化系统，具有广泛的组件，包括多个曝光头、级、控制器和ASME远程处理模块。它能够处理直径达300毫米的基板，紫外线曝光波长从200到365 nm。该单元设有一个最先进的控制面板，使用户可以快速轻松地调整机器的设置，包括曝光头的功率和速度，以及舞台的聚焦和曝光设置。此外，该控制器能够与先进的ASME远程处理模块集成，为光刻胶操作提供进一步的控制和精度。TOKYO ELECTRON MARK V-Z的主要成分是SEMINAR Series曝光头。这些高度可靠的磁头产生均匀一致的光场，非常适合处理细线光掩模。曝光头可以配置在多种配置中，允许用户根据自己的需求扩展曝光操作。该过程还具有3轴位置定位工具,以确保最高精度。TEL/TOKYO ELECTRON MARK V-Z还具有先进的液体处理资产，确保光刻胶在基板上的均匀应用和分布。这样就不需要在更换基板时进行手动调整,从而可以简化光刻操作。此外，该型号与广泛的抗性材料兼容，包括有机和无机抗性薄膜。TOKYO ELECTRON MARK-VZ还具有广泛的高级安全功能，可用于保护用户及其设备。设备装有虚拟边缘，检测基板是否进入不安全区域，立即停止加工；以及冗余的疏散前保护系统，该系统确保在处理过程中所有液体都被安全地包含。TEL/TOKYO ELECTRON MARK-VZ是一种高度先进的光阻装置，提供最高的精度和精确度。MARK V-Z具有模块化设计、先进的安全功能和广泛的组件,是那些需要快速有效的光刻操作的用户的理想解决方桉。