二手 TEL / TOKYO ELECTRON MARK Vz #9221712 待售

ID: 9221712
晶圆大小: 6"
优质的: 1998
(1) Coater / (2) Developer system, 6" 1998 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON MARK Vz是开发和生产微电子元件的尖端光敏设备。它能以高效和经济高效的方式实现高速和可靠的生产。TEL MARK-VZ提供多种功能,包括先进的光对准技术、高精度光刻技术和顶级自动化技术。先进的光对准器技术允许使用亚微米分辨率进行更高精度的晶圆定位和配准。光刻系统具有高动态范围的能力,使工艺更精细的结构和细节。TOKYO ELECTRON MARK V-Z提供的自动化确保了精细图桉、亚微米尺寸工艺和高纯度材料蚀刻等工艺可以快速高效地完成。MARK Vz还具有一个全面的软件包,可用于监控操作、开发新配方和控制单元。该软件可实现准确的模式识别、手动流程的自动化以及创建自定义配方的功能。它还使数据分析和反馈能够在过程优化中做出智能决策。TEL MARK V-Z具有灵活的模块化设计,使其非常适合融入生产线和自动化。机器人手臂能够高速操作工件,最大限度地提高了吞吐量,降低了成本。此外,其先进的视觉系统可以检测缺陷,并根据需要进行调整。TOKYO ELECTRON MARK-VZ使用尖端的半导体级全自动湿法。它利用高温/高压和化学辅助蚀刻技术以极好的方式蚀刻材料,以获得最高质量的图像和图桉。其高速、高精度的蚀刻功能确保了具有最新功能的设计的最佳效果。最后但并非最不重要的是,TEL/TOKYO ELECTRON MARK V-Z具有高精度的器件测量和缺陷检测能力。其强大的视觉系统能够从各种角度快速获取图像。视觉系统即使在亚微米分辨率下也能以快速可靠的方式检测、识别和定位缺陷。简而言之,TOKYO ELECTRON MARK Vz是一款高度先进的光刻机,提供多种特性和优点。其先进的光对准技术、高精度光刻、自动化、软件包、模块化设计、视觉系统,使其极为适合生产微电子元件。其全自动湿法工艺和高精度的器件测量和缺陷检测使其成为高质量生产的理想选择。
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