二手 TEL / TOKYO ELECTRON MARK Vz #9221713 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK Vz是一款一流、高精度的"光刻"设备，设计用于半导体生产中的光掩模曝光和蚀刻。它用于微电子和光学电路的成像和制图。该系统配有微光和投影成像系统，用于处理包括金属、聚合物、有机物和陶瓷在内的一系列基板。该机可处理尺寸小至0.05mm的基板。该单元还包含高分辨率摄像机，用于检测和调整基板曲率，确保每次曝光都准确一致。该机采用均匀、高速的紫外线激光扫描仪和广域光学显微镜，可精确对准激光束。这项技术使机器能够精确控制曝光剂量和打印质量。该工具还拥有高速自动晶圆处理资产。该模型能够在xaxis和y轴上精确对齐基板，以实现一流的曝光均匀性。设备配有口罩清洁系统，确保在暴露过程中没有灰尘或其他颗粒污染口罩或基板。这个单元使用先进的算法来定位和识别任何潜在的污染物并从基板上清除它们。该机器还具有高度精确的开发工具，能够控制开发人员的数量，以确保开发过程的准确性。它还具有一个图像库,可以存储多达40万个以前开发的模式的图像。最后，资产能够提供计量学服务，帮助确保暴露的抗蚀剂达到所需的厚度和发达的抗蚀剂特征一致的模式质量。这有助于确保通过成像产生的设备质量最高。