二手 TEL / TOKYO ELECTRON MARK Vz #9226209 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK Vz是一种光致抗蚀剂设备，设计用于半导体加工。光致抗蚀剂是一种光敏材料，用于光刻等半导体工艺中，使图样能够从掩模精确转移到晶圆上。TEL MARK-VZ能够处理高达200 mm的半导体晶片，并利用了最先进的抵抗涂层模块，允许高精度抵抗应用。此外，该系统还配备了一个直接接触曝光模块和一个精确的光学卡钳，用于获得精确的抵抗模式结果。该装置采用高分辨率CCD摄像机，在曝光过程之前直接监测晶圆状况，并采用低视频噪声电镜，对曝光模式进行精确控制。由于暴露过程和涂层模块是完全自动化的，因此机器能够实现高水平的可重复性，从而获得始终如一的高质量结果。此外,可以在工具的可编程内存资产中轻松存储和召回一系列配方,从而在涉及多个步骤的复杂过程中提高效率。此外,TOKYO ELECTRON MARK V-Z的设计目的是提供高水平的安全性能,低污染风险、意外暴露和其他安全问题。该模型采用与洁净室兼容的气体供应模块，并配有安全联锁装置，以防止不必要的暴露，以及防止气体排放，并在每种抗蚀涂层工艺后进行清洁/灭菌。此外，该设备还装有紫外线安全单色仪，用于监测暴露过程中的辐射水平，并自动将辐射水平调整至最优值，确保安全的操作环境。总体而言,MARK-VZ是一种高度先进的光刻胶系统,可提供无与伦比的精度、安全性和效率级别。通过将最先进的抗涂层和曝光模块与先进的CCD监控技术相结合，该单元为用户提供了一个可靠和一致的平台，以最小的努力处理高质量的晶圆图样。