二手 TEL / TOKYO ELECTRON MARK Vz #9273847 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK Vz是一种精密光刻设备。它用于制造集成电路（IC）作为光刻工艺。光致抗蚀剂是一种光敏材料，在IC制造过程中被施加到基板上，然后被暴露在一个称为标线的图样光源下。该系统允许将材料层精确蚀刻和沉积到基板上。该单元由几个组件组成，包括光学步进器、scriber、掩模对准器和等离子体蚀刻器。光学步进器用于将光刻胶层精确地暴露在标线上。在蚀刻前和蚀刻后，使用剪刀对基材进行切割和成形。掩模对齐器用于确保正确对齐，减少光刻图样的可变性。最后，使用等离子体蚀刻器以适当的深度和速度将薄膜图样蚀刻到光刻层上。TEL MARK-VZ有几个功能可以用来优化光刻胶工艺。该机器专有的激光微蚀刻技术使IC制造的循环时间更快、吞吐量更高、最终产量更高。此外,该工具的自适应透镜技术使其能够快速调整以适应不同的标线图桉和特征尺寸,从而获得更精细的细节。TOKYO ELECTRON MARK V-Z还提供了一系列操作特性，有助于提高可靠性和促进高效操作。其中包括自动温度控制，以及用于控制蚀刻过程的压力调节器。此外,TEL/TOKYO ELECTRON MARK V-Z还配备了全面的用户界面和软件包,以指导用户完成设置和评估过程。总之，TEL MARK V-Z是一种用于IC制造的可靠、强大的光致抗蚀剂资产。其先进的光刻功能可实现更快的周期时间、更高的吞吐量和更高的产量。它的操作特性和用户界面也确保了可靠的操作和易用性。有了这些特点，MARK V-Z是IC制造和其他光刻工艺的绝佳选择。