二手 TEL / TOKYO ELECTRON / NEXX Stratus S300 #293748593 待售

NEXX SYSTEMS Stratus S300是一种光刻光刻设备,可作为PCR和其他研究及制造过程的可靠且经济高效的工具。这个系统操作的波长范围很广，从紫外线到近红外，以减少曝光和加工各种材料如SiC、SiO2、SiN和光刻胶所需的能量量。它具有一个大的、统一的视场和精确的舞台，提供精确的对准和移动与应用。S300单元集成了专有的光束扫描技术,可提供卓越的图像生成、分辨率和可重复性。该机还利用实时项目反馈和位置控制，确保对准和曝光的准确性。其有效等级的可变NA或数值孔径高达0.7的光学器件提供了卓越的光强度和均匀性,同时将曝光时间保持在短时间内。Stratus S300包括高精度的自动化聚焦、曝光强度和剂量控制以及阶段自动化功能。这些特性保证了在空腔、图样位置、薄膜、深度分辨率和线宽控制等各种应用中都能获得最准确的结果。NEXX SYSTEMS Stratus S300具有出色的紫外线光源稳定性，具有无与伦比的工艺性能，具有可重复的特征再现和低速的温度变化反应。该工具还具有双重激光致盲和框架锁定等集成安全功能，非常适合实验室使用。此外,它采用节能暗室设计,将能耗降至最低。Stratus S300与各种软件解决方桉兼容,并且可以进行配置以匹配各种应用程序。综上所述，NEXX SYSTEMS Stratus S300提供了可靠、统一和经济高效的光刻光刻技术，适用于PCR和其他研究和制造工艺等各种应用。它的实时反馈和光学技术提供了卓越的分辨率和可重复性,同时缩短了曝光时间。其集成的安全特性和暗室设计使其非常适合实验室使用。