二手 TEL / TOKYO ELECTRON / NEXX Stratus S300 #9256281 待售

TEL/TOKYO ELECTRON/NEXX Stratus S300是半导体器件制造中用于光刻工艺的光刻设备。该系统旨在使晶片暴露于光和化学物质中以用于成像，并且能够在晶片表面产生复杂复杂的图样。TEL Stratus S300利用强大的激光扫描单元将光引导到晶片上,从而生成高保真特性。该S300能够使晶片同时暴露于氟离子准分子和紫外线光源。这使得机器能够同时暴露和转移负和正模式到晶片。这项技术允许在光刻过程中获得更高的精度和细节。该S300采用了一种先进的扫描工具，有可能产生小至0.1微米的特征。此资产允许进行高精度的光刻工艺,例如对深层沟槽特征进行阵列化、形成信号路由接触或生成高级工艺节点所必需的超精细阵列。该S300还采用了全面的先进曝光控制模式。该设备由一系列传感器和镜头组成,这些传感器和镜头不断监视和调整系统的曝光参数,确保始终实现最佳特征分辨率。此外,还提供高级计量选项,例如舞台级薄膜测量,从而进一步制作复杂的图样和特征。总体而言，NEXX Stratus S300光刻装置是一种先进的技术，能够在半导体晶片表面上产生高质量的图样和特征。TOKYO ELECTRON Stratus S300拥有强大的激光扫描机和先进的曝光控制和计量功能,为光刻工艺提供了可靠、经济高效的解决方桉。