二手 TEL / TOKYO ELECTRON / NEXX Stratus S300 #9302388 待售

TEL/TOKYO ELECTRON/NEXX Stratus S300是一种精密光刻设备，设计用于在半导体基板上产生高品质的光刻图样。它提供了一个高效的方式来创建复杂的微电子设备的速度和精度。TEL Stratus S300包括多光束光刻头和4点高分辨率步进电机,以及具有可选多孔曝光功能的高精度基板级。该系统使用KrF准分子激光束提供0.18微米分辨率，曝光波长设置为248nm。唯一的自对齐功能可确保正确对齐所有曝光操作。该设备采用多层扫描机制，以确保高精度和快速的产品吞吐率。它最多可容纳8种尺寸达8英寸的基材，最大基材厚度为0.6mm。本机提供1.2mm方形面积的2.4sec/shot超快曝光速度。它还包括一个高性能的晶片处理程序，从卡式装载机的正确方向和位置馈送基板。NEXX Stratus S300将高精度模式生成与改进的模式均匀性、图像分辨率和高通量率相结合。它还提供了一个先进的过程控制工具，对暴露条件和机器性能进行实时优化。该资产可减少基板的不均匀性,优化曝光参数,确保环境影响最小,成像质量卓越,并且在延长运行期间可重复显示结果。总体而言，TOKYO ELECTRON Stratus S300是一种创新的、高度精确的光刻胶模型，可以产生高品质的光刻胶图样，并有最少的大惊小怪或浪费。其先进的特点使其成为生产速度和精度复杂的微电子器件的理想工具。