二手 TEL / TOKYO ELECTRON PDS-BX02E0954 #293658856 待售

TEL/TOKYO ELECTRON PDS-BX02E0954是一种光致抗蚀剂设备，能够将图样精确掩蔽或再现到基板上。它提供高精度成像、分辨率和吞吐量方面的卓越性能。该系统包含三个主要组成部分：电子束发生器、激光光源和工艺室。电子束发生器产生的光束由物镜沿着光束路径聚焦和定向。激光光源产生激光，用于图桉书写。该工艺室包含一个环境控制单元，使工艺室保持清洁和真空密封。TEL PDS-BX02E0954拥有非常高效的成像机，利用J-Type镜头提高工艺效率。这种透镜便于电子束在整个底物上的均匀成像，产生高分辨率的图样。此外，TOKYO ELECTRON PDS-BX02E0954采用了专门设计的计算机控制装置，每秒可处理500万像素。这显着提高了模式写入速度和准确性。PDS-BX02E0954是Hi-K和Copper互连应用的理想选择,已成功用于通信和内存生产。它具有广泛的功能,包括向下缩放图样、轮廓校正、图样压缩、图像图样优化和接触孔填充。此外，该工具还支持使用最新的光刻设计进行操作，如双阵列和电子束直接写入。资产还具有创新的温度控制模型，以帮助确保可重复的结果和精确度的模式过程。该设备主动调整工艺参数，以优化每次曝光。此外,系统还利用最小的功耗,使其成为大规模生产运行的经济选择。TEL/TOKYO ELECTRON PDS-BX02E0954为创建高度复杂和详细的电路结构提供了卓越的精确度和先进的技术。它为生产尖端设备提供了经济高效的解决方桉,非常适合大批量生产。