二手 TEL / TOKYO ELECTRON PHP Oven for ACT 8 #9273728 待售

TEL/TOKYO ELECTRON PHP Oven for ACT 8是一种用于半导体器件制造光刻工艺的光刻设备。这一通用工具旨在为正负光刻胶的开发提供一个安全的环境。该系统由装有双传输机构的腔室、先进的加热和冷却系统以及集成的机械臂组成。该腔室还设计用于必要时修复口罩和物体表面。烤箱的双重输送机制允许晶圆和其他物体在同一基板上的装卸。这样可以在不同的光刻胶和基板之间进行更快速、更高效的处理。它还配备了可调的机械参数，以进一步精简工艺。设备的温度控制是使用先进的基于PID的温度控制器完成的,该控制器能够保持高温和低温。这样可以确保光刻胶层得到适当的固化和显影。此外，烤箱还配备了先进的冷却机，可以安全地消除多余的热量，并迅速将温度恢复到所需的水平。机械臂的设计目的是确保物体在进出舱室时的准确和安全定位。这提供了很高的精确度,并确保以最佳的方式处理对象,且损害最小。通过使用专有的处理程序、内置的诊断功能、维护数据记录以及集成的安全监控工具，加强了机器的长期稳定性和安全性。所有这些都确保资产平稳运行,并且在影响生产之前可以快速识别和解决任何问题。总而言之,用于ACT 8的TEL PHP烤箱是半导体器件制造中的一个非常宝贵的工具.其先进的特性、坚固的设计和精确的能力确保了光刻胶层的可靠和高效的处理。