二手 TEL / TOKYO ELECTRON PHP Oven for ACT 8 #9275822 待售

TEL/TOKYO ELECTRON PHP Oven for ACT 8是一种设计用于半导体器件生产和LCD面板器件FA的"光刻"设备。利用TEL-B-Tech PPS技术提供精确稳定的加热，获得敏感电子的最佳效果。在PHP炉中加热制造液晶面板器件光刻工艺中使用的氯氧化磷（POCL3）型抗蚀层，以确保质量一致。PHP烤箱由短室和加热区、排气区、扩散区和排气室组成。它旨在有效地将氧气量降低到2ppm或更低的水平,以保持POCL3抗蚀层的稳定性。加热区配有珀尔帖元素，使系统温度保持在20-200°C的范围内，十五个单独的热量通道。扩散带还配备了珀尔帖元素，将烤箱温度保持在0-200 °C的范围内。此外，排气室还有一个净化装置，可以防止POCL3排放到环境中。PHP烤箱还采用高功率PIR红外灯，增加了从烤箱室到基板的热传导，取得了较好的效果。它还使用静电过滤器来减少排气区发出的细小灰尘。此外,其控制机具有真空控制和温度控制.TEL PHP Oven for ACT 8 is a reliable and efficient way to provided stable conditions for production of sensive electronics, specially to probricating LCD panel devices.该工具旨在以最小的误差和风险提供快速和可预测的结果。