二手 TEL / TOKYO ELECTRON PHP Oven for ACT 8 #9276948 待售

TEL/TOKYO ELECTRON PHP Oven for ACT 8是一种高性能的光致抗蚀剂设备,旨在精确控制最佳光致抗蚀剂成型所需的温度。该系统提供了一种超精确和一致的传热，从而消除了导致基板内光敏粒子膨胀和脱落的高温。这是通过烤箱的双壁热解涂层石英室和各自的加热单元来实现的。本机由一个装有光刻胶的上部石英室组成，下部石英室包含一个专有的次地板加热工具。两个单独的腔室通过充气密封连接，从而形成气密的加热环境。地下加热设备通过集中加热元件将热量输送到石英室内。安装了超快速响应热电偶，实时测量工艺温度，从而允许快速反应时间和精确热控制。TEL PHP Oven for ACT 8提供50至300°C的温度范围，由独特的强制空气对流算法精确控制。该算法监测石英腔内温度变化的速度，必要时通过使用气流巩固运动。这确保了石英腔室内的温度不仅能快速达到要求的水平，而且还能以极好的精度和一致性保持温度。烤箱还包含一系列激光聚焦和可单独控制的热指向系统。相应的热尖可以用来隔离甚至增加整个基板的热分布。该模型还可用于在石英室内的任何化学过程之前创建基础温度。另一个特点是设备独特的自我监控技术，确保人员和设备的安全。它通过检测任何温度超载并通过关闭供热装置来进行响应。总体而言，用于ACT 8的TOKYO ELECTRON PHP烤箱通过其超精确的温度控制和强制空气对流机制提供了高精度和可靠性。这样可以确保使用系统进行的任何光致抗蚀剂工艺都能获得最佳的质量结果。