二手 TEL / TOKYO ELECTRON PHP Oven for ACT 8 #9314751 待售

TEL/TOKYO ELECTRON PHP Oven for ACT 8是一种先进的光刻设备，用于一系列临界光刻工艺。它提供了支持精确、可重复和一致开发光刻胶层的各种特性的组合，这对于制造半导体和微电子器件至关重要。TEL PHP Oven for ACT 8利用先进的专有真空技术，以优异的线缘和线宽控制达到高分辨率。此外,系统还具有优化的几何形状,可帮助实现卓越的工艺性能。PHP烤箱还采用了一种新型的能量传递装置，增强了均匀性和可重复性，并提供了快速的热传热。此外，对这种烤箱能量进行精确监测和控制，以确保过程的可重复性和可重复性，并提供所需的高性能。此外，用于ACT 8的TOKYO ELECTRON PHP烤箱还包括各种集成的模块化工艺选项。这些设计旨在满足现代光刻工艺的特定平面化、光刻和曝光后烘烤需求。例如，可编程浮动热板和多区选项可用于专门的流程。PHP烤箱允许开发具有卓越分辨率、线缘均匀性和可重复无粒子结果的光刻胶层。此外，在需要集成后处理的情况下，PHP烤箱可与用于关键清洁过程的集成灰烤箱结合使用。综上所述，PHP Oven for ACT 8是一款先进的光刻机，结合了多种特性，保证了高性能和最佳的工艺可重复性。它有助于以快速和可靠的方式生产优越的光刻胶层，同时还为专门工艺提供集成模块选项。因此，它是临界光刻和平面化工艺的理想选择。