二手 TERRA UNIVERSAL Plasma-Preen #9092019 待售
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TERRA UNIVERSAL Plasma-Preen是一种光阻系统,旨在协助微电子、医疗和航空航天部件的精密蚀刻。它利用两种或多种特殊气体的组合,包括O2/SF6、CF/SF6、Ar/SF6和H2/C2F6,它们被送入等离子体腔。气体随后受到高压,使其电离产生等离子体,形成于基板的键合表面。等离子体然后与底物上的聚合材料反应,产生独特的基质供光刻胶反应。光致抗蚀剂只要暴露在高能源下,如紫外线,就会以在基板和等离子体之间形成强烈保护屏蔽的方式发生反应。这种防护罩有几种用途。首先,它使敏感基板的表面清洁、粘附和图案化更加容易.其次,Plasma-Preen的特种气体有助于产生一层耐用的等离子体,对基材形成有效的保护屏障。一旦保护层已经形成,一系列的化学溶液就被应用到基材上。这些化学物质将以高度受控的方式与等离子体和底物发生反应。这种反应通常被称为"撕裂",它负责保护层的稳定。这种稳定也大大降低了基材在制造的后续阶段发生损坏的可能性。在整个加工过程中,高反应性的光致抗蚀剂仍然附着在基板上,可以实现非常精确和复杂的蚀刻图样。TERRA UNIVERSAL Plasma-Preen系统是在微电子、医疗和航空航天部件上实现精密蚀刻的高度通用和可靠的方法。它结合了特殊气体和高能量暴露,可以形成快速保护性和高度电阻性的层。易于清洁、粘附和图桉的附加优点也使它对那些寻求可靠解决方桉以满足其需求的人非常有吸引力。凭借其易于使用的控制面板、安装和培训材料,Plasma-Preen无疑被证明是任何制造工艺的宝贵补充。
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