二手 THERMO FISHER SCIENTIFIC / SHANDON 312007 #9040707 待售

Thermo FisherTHERMO FISHER SCIENTIFIC/SHANDON 312007是一种光致抗蚀剂系统,用于将材料薄层精密蚀刻和沉积在基板上或制造多层微结构。它由一个控制面板、电源、曝光源和一个样品板组成，该样品板旋转和滑动，使输出的能量束与基板精确对齐。光刻胶系统有能力处理尺寸范围较大的基板，包括尺寸较小的基板，如2 "x2"基板，此外还有更大的标准基板，如4 "x4"和6 "x6"。这一过程使微观结构的设计更加灵活，例如复杂的图样，对于生物医学或电子应用而言具有高精度。光致抗蚀剂的过程开始于在基板上施加一层薄薄的光致抗蚀剂，它是一种光敏聚合物。光刻树脂到位后，曝光源被打开，产生一束聚焦能量，以便蚀刻或沉积材料到光刻树脂的暴露区域。光束用操纵杆控制,以便精确对准。曝光过程的持续时间和复杂性也可以微调，从而在制造过程中实现更大的控制和准确性。曝光过程完成后，开发出光致抗蚀剂。这一开发过程的工作原理是利用化学显影剂溶解光致抗蚀剂的暴露区域，留下未暴露的区域，这些区域将充当保护面罩。然后,此蒙版充当模板,用于定义要蚀刻和沉积的部件。一旦开发出光致抗蚀剂，剩余的蚀刻或沉积过程就可以根据所需的性质进行。这些过程可以包括离子或等离子体蚀刻、通过溅射沉积薄膜层以及电镀。在Thermo FisherSHANDON 312007的帮助下进行的这些过程的组合使得能够精确制造具有复杂微观结构和组件系统的部件。微结构的精确制造是从生物医学到电子等各种用途的新型材料和器件开发的重要一步。