二手 TOHO KASEI SD-06 #9280581 待售
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TOHO KASEI SD-06是一种最先进的光刻胶设备,设计用于处理一系列光刻胶材料处理任务。它配备了先进的特性,使光刻胶的应用更容易、更快。该系统由三个主要组成部分组成:一个磁带转运站、一个光刻胶自旋站和一个光刻胶带状站。磁带转运站允许在安装在聚酰亚胺或聚酯胶带上的基材之间分配和转移。光致抗蚀剂自旋站的设计目的是将均匀的感光材料膜快速直接地传递到基板上。KASEI SD-06具有改进的晶片卡盘,可实现更高的旋转速率,最高可达3,000 RPM,以确保晶片的快速均匀涂层。光敏带站的设计是为了去除显影后的感光材料,从而在基板上得到干净准确的表面光洁度。该单元支持多种感光材料,包括一些粘度不同的材料。一个可选的分配喷嘴可用于高粘度材料。TOHO KASEI SD-06有一个大型液晶显示屏,便于操作和监控机器。用户友好的触摸屏界面允许参数编程和控制。它还具有自动清洁周期,用于低维护操作。总体而言,SD-06是一种功能强大且可靠的光刻工具,非常适合半导体工业使用。它具有许多功能,可实现卓越的性能和过程一致性。它的三个主要成分使得它适合一系列的光敏材料加工任务。此外,其用户友好的控件、大型液晶显示屏以及高速旋转速率,使其成为实现可靠效果的完美选择。
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