二手 TOHO KASEI SD-08 #9280838 待售

TOHO KASEI SD-08
製造商
TOHO KASEI
模型
SD-08
ID: 9280838
晶圆大小: 8"
优质的: 1994
Spin dryer, 8" 1994 vintage.
TOHO KASEI SD-08是由TOHO KASEI Co., Ltd.开发的一种光阻设备,用于电子、光电子和MEMS应用基板的涂层和图案设计。该系统带有两种在其他光刻胶系统中找不到的创新技术。第一种技术是新颖的基材分配法(SDD).这种方法使用一种专有的精密分配机构,能够为可能具有不同特征的基板提供均匀的光刻胶涂层,如不同的厚度、曲率和基板方向。光刻胶的这种精确应用确保了均匀的覆盖范围和更精确的图样,而无需额外的后处理。SD-08的第二项技术是先进的光子发射热点检测方法(PEHD)。这种方法使TOHO KASEI SD-08能够检测光刻胶和基板在暴露于激光束时因基板加热而引起的能量分布模式的改变。这使得该单元可以自动调整激光功率和其他参数,以确保最佳曝光,从而改进了模式传递和高精度成像。SD-08还带有其他有用的功能,例如有助于获得更高分辨率图像的高灵敏度图像增强摄影模块,以及层厚度控制机,该机允许用户设置光刻胶层厚度以实现更精确的图样制作过程。综上所述,TOHO KASEI SD-08是一种先进的光阻工具,它采用了两种技术,即基底双刚性分配法和光子发射热点检测法,为光阻提供了更加均匀准确的应用,并确保了激光的最佳曝光,以改进图样传递和高精度成像。其其他有用的特点使这一资产成为一种通用和先进的光阻解决方桉,用于电子、光电子和MEMS应用。
还没有评论