二手 TOK TS-8162FD #293642815 待售

TOK TS-8162FD
製造商
TOK
模型
TS-8162FD
ID: 293642815
晶圆大小: 8"
优质的: 1999
Coater / Developer system, 8" 1999 vintage.
TOK TS-8162FD光刻设备是一种用于制造集成电路(IC)的高性能工业系统。该装置具有先进的低磨损精密清洁能力,可确保最高水平的光敏粘附和耐蚀刻性能。该机采用高度先进的激光光刻蚀刻技术,能够在硅片上生产小型化设计,并已设计用于微电子制造过程。该工具旨在提供精确的分辨率和高速吞吐量,同时仍提供高度的灵活性。这是通过各种功能来实现的,包括复杂的现场测量资产、精确的掺杂剂控制、精确的定时调整、多层功能以及各种层溷合补偿交换过程。此外,该模型还包括自己的全自动湿法加工设备。该系统可以很容易地集成到现有的生产系统中,因为它与广泛的控制系统兼容。它还包括一个附带的食谱和其他资源库,使用户能够轻松定制其生产过程。该单元的独特之处在于它能够改进整个生产过程并提高IC的准确性和设计细节。TS-8162FD的反应性离子蚀刻(RIE)能够产生高分辨率图样,分辨率高达1 μ m。其真空能力允许透明基板加工,允许提高生产速度,而机器同时保持高质量的设备制造。TOK TS-8162FD由200-MHz处理器提供动力,使其成为快速可靠的工具。它拥有各种各样的特性和配件,包括一个可移动的臂来转移晶片,一个用于清洗的晶圆罐和一个温度控制的气泡清洗站。资产也有多种激光器,可以独立调整配置,适合广泛的流程。TS-8162FD是一个可靠和能干的生产模型,非常适合创建范围广泛的集成电路,具有无与伦比的精确度和精确度。其提供定制生产工艺的能力和处理复杂工艺的能力,使其成为微电子制造商的理想选择。
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