二手 TOSHIBA CMT-600W #9356205 待售
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TOSHIBA CMT-600W是一种最先进的光刻设备,可为各种微型设备和组件提供最先进、经济高效的处理。该系统具有1600毫米的曝光区域,具有均匀的光源和均匀的光照效果,以实现照片成像仪的卓越分辨率。较小的曝光区域允许更高的吞吐量、更快的处理时间和更高的基材质量。该单元包括一个用于提高生产率的高容量晶圆处理程序。晶片被装在托盘中,运到曝光站,在那里通过紫外线和机械运动的组合曝光。紫外线与机械运动相结合,提供精确的晶圆曝光.晶片也可以暴露于包括10/6、15/10和6/4在内的各种掩模格式,以进行精确曝光。该机还包括一个光刻电路,其中包括接触的光刻过程,和蚀刻。进行接触打印是为了在晶圆上产生高分辨率的照相图像。光致抗蚀剂沉积在晶片上,并利用紫外线曝光,产生所需的电路模式。然后从晶片上蚀刻或移除光刻层,以便进一步细化电路模式。此外,该工具可以被编程为同时蚀刻两个或三个层图样。CMT-600W资产还具有600毫米真空卡盘,为产品基材质量的可靠精度提供了一个稳定、精确的平台。真空卡盘模型确保站点的精确对齐,以确保更高比例的精确打印图样。该设备还包括华硕变压器,为用户提供直观、易于使用和高效的界面。这允许图像加载和处理以及数据分析达到前所未有的水平。TOSHIBA CMT-600W系统是适用于任何生产环境的经济高效且先进的光刻解决方桉。该装置配备了多种特性,几乎可以适应任何生产需要,包括晶圆生产、芯片生产和其他高分辨率元件。该机将最先进的设计与先进的技术完美结合,以极小的成本提供卓越的性能和精度。
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