二手 TOSHIBA CMT-600W #9410792 待售

东芝CMT-600W是东芝公司设计制造的光刻设备。它是一个高精度、全自动、非接触式抗拒处理系统，能够高效曝光和开发大面积光学物体。CMT-600W设计用于使用高功率曝光单元和先进的曝光方法实现极高的分辨率。该机可容纳一系列光学物体，包括半导体掩模、显示器和光电导体基板。TOSHIBA CMT-600W使用波长在400到450纳米之间的大功率氙灯，能够提供高达4000 mJ/cm2的曝光能量。CMT-600W采用两阶段曝光工具，包括曝光阶段和焦点校正阶段。在曝光阶段，物体受到氙灯的照射，接着是第二阶段，进行聚焦校正，以确保在基板上准确放置特征。资产还具有自动倾斜选项,用于补偿跨基板的不均匀表面高度。此功能有助于在整个基板区域实现均匀曝光。TOSHIBA CMT-600W还配备了强大的开发模式，可以让抗蚀剂表面快速、方便的冲洗和干燥。除了强大的曝光和开发系统外,CMT-600W还具有许多其他功能,使其成为光刻胶处理类别中的通用工具。它有一个自动化的清洁设备，以及一个紫外线发射监测器和一个集成的间隙填充系统。该单元还包括一台内置缺陷检验机，能够识别和隔离缺陷，使用户能够在整个过程中确保质量控制。总体而言,TOSHIBA CMT-600W是光刻处理的绝佳解决方桉,为大面积光学物体提供卓越的分辨率、准确性和灵活性。它结合了现代技术和先进的设计元素，以提供卓越的效果。该工具适用于从半导体掩蔽到显示器制造的一系列应用。CMT-600W具有先进的性能和可靠的性能，是光刻加工的理想选择。