二手 TRYMAX NEO-3000 #9269770 待售

TRYMAX NEO-3000是为先进光刻应用而设计的最先进的光刻设备。它采用了创新技术的组合，旨在实现相关曝光的优越匹配。其中包括灰度正强度调制（G-PIM）、垂直对齐（Vertical Alignment, VA2和选择性图样放置（SPP）,它们共同允许光阻层之间的高级图样匹配。结果表明，通过最小程度地调整曝光参数，可以达到良好的光谱尺寸和良好的光谱均匀性。NEO-3000具有具有可变扫描宽度的高精度高速多相矢量扫描仪。这是一个非常精确的设备,能够达到+/-0.2 um的精度,用于特征尺寸控制。这种精确度使不同的光阻层之间的模式匹配更好,而且需要的调整级别要低得多。该系统还包括一个高频光源，加上各种可定制的曝光控制参数。这使用户能够达到他们所需的精确切割精度和深度。此外，TRYMAX NEO-3000有一种剂量工具，可以根据用户定义的参数精确控制暴露时间和剂量。NEO-3000还包括一套监控系统,用户可以实时监控设备的性能,从而最大限度地减少任何容易出错的做法。总体而言,TRYMAX NEO-3000是一台先进的光刻机,旨在在光刻抗蚀层之间提供卓越的图样匹配,并且需要非常低的调整级别,以及高精度和可重复性。它是任何光刻应用的完美解决方桉，需要精确的图样放置，复杂的图样匹配或特征尺寸控制。