二手 TUNG SHUNG 27MQ-E #194141 待售

TUNG SHUNG 27MQ-E是一种用于半导体加工的光刻胶系统。它旨在通过减少误差和提高工艺质量来提高产量。该系统的工作原理是将一层光致抗蚀剂暴露在光源或其他辐射源之下，然后导致该层的组成或性质发生变化。27MQ-E利用高分辨率步进器来获取和控制光线或辐射的暴露,从而实现精确的校准和控制。其集成的照明对准允许对光刻胶层上的曝光目标进行极其精确的成像。此外，TUNG SHUNG 27MQ-E的分辨率为800nm，可确保在光源或其他辐射源下的暴露具有高质量和准确性。27MQ-E还具有基板加热能力，用于保证光敏效果的实现。这是通过在暴露于高达450°C的温度下一分钟之前提高基板的温度来完成的。当基板达到设定点温度时，光致抗蚀剂就会被曝光。除了错综复杂的硬体设置外，TUNG SHUNG 27MQ-E还有一个与硬体协同工作的软体平台，以进一步提升暴露于光刻胶层的结果。该软件平台允许灵活调度曝光和跟踪结果，包括优化曝光时间、光强度、光刻胶流速等工艺参数。它还可以方便地回忆以前的结果，并为未来的过程创建新的配方。总体而言，27MQ-E光敏系统是现代半导体制造发展的绝佳工具。TUNG SHUNG 27MQ-E凭借其易于使用的硬件和强大的软件平台，确保了光致抗蚀剂工艺的精确度和精确度，从而提高了产率和工艺质量。