二手 ULTRA OPTICS Mini II #9259818 待售

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製造商
ULTRA OPTICS
模型
Mini II
ID: 9259818
Coater and cure oven.
ULTRA OPTICS Mini II是一款高性能光阻处理设备,旨在满足半导体制造商和研究机构等高端用户的需求。它配备了一种强大360W自动化的准分子激光器,能够在广泛的曝光波长范围内进行精确的阵列设计。此外,基于光学的系统的高分辨率和稳定性允许对宽度和厚度不超过10 μ m的特征进行可重现的成像。可选的自动OPC模块可用于复杂模式的设计、验证和生产。Mini II利用一个专门的高分辨率棱镜光学单元,在紫外线照射下产生照相面罩和原始图桉的均匀、单色图像。包括精确的尺寸检测器,这有助于机器保持稳定的曝光控制和最小化模式失真。用户界面旨在方便直观和易于使用,并为各种处理程序提供用户手动和自动控制,从而能够快速和最佳地安排曝光参数。此外,该工具还包括启用配方的主/从模式,允许用户重迭和比较不同的参数,记录流程数据以进行质量分析和控制。最后,资产加载了一个非常直观的软件包,该软件包为自动特征识别提供高级控制,并帮助用户开发所需的流程。实时处理数据日志记录、模式识别和防止错误系统都包含在包中。总而言之,ULTRA OPTICS Mini II是一种用途广泛、易于使用且质量高的光刻胶处理模型,可为用户提供精确可靠的结果。它非常适合开发更复杂的流程,并为新用户和经验丰富的光刻胶用户提供了一个用户友好的界面。
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