二手 ULTRA OPTICS MR3 #293614892 待售

ULTRA OPTICS MR3是为大幅面应用的特殊需求而设计的光阻设备。它处理各种任务-清洁、涂层、曝光、开发和蚀刻-效率和可靠性都很高。该系统由多个模块化组件组成，每个组件的设计都有特定用途。该单元的核心是一个精密步进/扫描仪平台，它执行实际的光刻过程。其步进/扫描仪机构设计用于容纳任何尺寸的基板，包括直径可达300 mm的晶片。这样可以确保所有尺寸和形状的光掩模的精确曝光。然后将暴露的基材放入曝光后的烘烤加热器中，并进行加热，以确保光致抗蚀剂的粘合令人满意。与传统的热粘结工艺相比，这种烤箱产生的光刻层的快速固化时间和一致的深度保证了更高的精度。然后将煮熟的底物转移到显影站，浸入硫酸溶液中。这一过程使未曝光的光刻胶从基板上自动去除，并揭示出所需的图样，可以进一步处理。而且集成蚀刻机能够进行深蚀刻和干蚀刻。该工具还包括一个用于清洁残留光刻胶和其他材料基材的精密微调。该资产自带工作流软件，使用户能够创建多个作业设置并跟踪光刻过程，以及定制曝光时间、曝光温度和烘烤温度等各种参数。综上所述，MR3是一种具有高度精度和可靠性的先进光刻胶模型。它是完全自动化的，可以快速方便地处理各种基板，其集成的软件有助于方便地为不同的应用量身定制过程。它提供了设备、组件和任何其他需要光刻工艺的产品的高质量生产。