二手 ULTRA OPTICS MR3 #293815326 待售

ULTRA OPTICS MR3是一种革命性的光刻设备,旨在提供光刻和微加工应用中的卓越性能。该系统采用先进的光刻技术,如优化的防反射涂层（ARC）,旨在提供最佳成像和高分辨率能力。该单元在曝光源和成像技术方面提供了灵活性，使其能够处理正面和负面图像投影到抗蚀剂上。这使得它能够用于各种各样的光刻应用，包括光学和电子束应用。该机的核心是一种先进的抗蚀剂配方，其设计可提供高分辨率、低收缩、优异的抗粘性和优越的表面保护。MR3光刻工具还提供了广泛的蚀刻电阻，使其适合各种应用。这一资产被设计用于各种微加工应用，如表面微加工、深反应性离子蚀刻、等离子体蚀刻和常规光刻蚀刻工艺。抗蚀剂的综合性能和高灵敏度使其能够在所有蚀刻环境中提供精确的基板表面特征对准和精确的特征形成。该模型利用了非常有用的制造界面和先进的自动化功能，从而实现了一致的过程控制和成本节约。ULTRA OPTICS MR3光阻设备允许针对一系列复杂的程序对自动化模块进行快速轻松的编程。总之，MR3是一种高度先进的光刻系统，旨在提供光刻和微加工应用的最佳性能。该装置采用先进的抗蚀剂配方，产品种类繁多，适合各种用途。先进的自动化模块和先进的成像功能可实现精确的特征形成和出色的对准精度。