二手 ULTRA OPTICS MR3 #9357168 待售

ULTRA OPTICS MR3是ULTRA OPTICS为在光刻工艺中达到极高分辨率而开发的光阻设备。该系统使用一种特殊配制的光刻胶材料，这种材料根据所需的图样有选择地暴露在紫外线下。当受到紫外线照射时，光致抗蚀剂会发生物理和化学变化，从而形成浮雕图像。MR3单元的主要优点是与多种材料的兼容性和高分辨率。该机能够製造出宽度介乎6微米至75微米的单层图桉。此外,ULTRA OPTICS MR3工具能够实现10纳米的分辨率,从而能够生产出非常小巧复杂的设计。MR3资产具有自动化的多层成像过程,以提供更大的设计可能性和更快的生产速度。首先，在晶片或设计区域的层中应用光刻胶，精确确定曝光时间。然后，机械臂将紫外线辐射施加到第一层。最后将光刻胶固化硬化。然后对设计的每一层重复此过程，允许快速高效地生成复杂的三维模式。此外,ULTRA OPTICS模型还具有可定制的曝光和固化参数,确保每个应用程序都完全适合手头的任务。这些参数包括快门速度、光束大小、剂量和曝光时间，这些都可以调整以确保最佳性能。总体而言,ULTRA OPTICS MR3设备是一个用途广泛、分辨率高且自动化的光刻系统,能够通过精确的控制生成复杂的图样。因此,它是生产极其精确和复杂的设计的极其宝贵的资产。