二手 ULTRASONIC ENGINEERING KPD1566SB-4SRD #9392782 待售

ID: 9392782
晶圆大小: 5"
Spin dryer, 5".
ULTRASONIC ENGINEERING KPD1566SB-4SRD是一种光刻设备,其设计目的是在非常精确的超高分辨率电路中提供卓越的蚀刻能力。Ultaire RS是一种高度通用的材料,在干燥和潮湿的环境中均具有出色的蚀刻性能。利用Ultaire RS光刻材料的独特特性,可以精确蚀刻其他蚀刻技术通常难以达到的细纹和形状。Ultaire RS光致抗蚀剂层层迭在基板上,并暴露于激光模式下。激光能量加热Ultaire RS材料,使其选择性分解,并在暴露区域被去除。在暴露过程之后,基材在溶剂中显影和洗涤,去除任何暴露的Ultaire RS材料,留下一个图桉化的抗蚀层,作为后续蚀刻过程的屏障。KPD1566SB-4SRD设计的目的是在不影响质量的情况下提供卓越的蚀刻性能。它配备了高功率激光源,能够以高达2.0瓦的功率发光。这种激光系统旨在在干燥和潮湿的环境中抵抗蚀刻,使其成为温度敏感环境中生产过程中的理想选择。ULTRASONIC ENGINEERING KPD1566SB-4SRD还具有高分辨率步进电机单元,能够产生非常精确的超细线条,最小特征尺寸为39.7微米。步进电机还便于高速进行高精度对准和复制,从而能够快速、精确地生产电路。此外,KPD1566SB-4SRD还受到两个超可靠的光学对准系统的保护。初级光学对准机利用高精度3D视频扫描仪检测和校正热膨胀或其他生产不规则性造成的任何基板对准误差。第二种对准工具使用双激光资产来注册基板高度。这两个系统协同工作,以确保一致和精确的蚀刻结果。ULTRASONIC ENGINEERING KPD1566SB-4SRD是一种光刻剂模型,具有精密、受控的精密蚀刻能力.利用一种专有的Ultaire RS光刻材料,这种设备可以产生原始、超细的线条和形状,最小特征尺寸为39.7微米。它配备了高功率激光源、步进电机和两个光学对准系统,以确保精确的蚀刻效果和可靠、耐用的性能。
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