二手 ULTRON SYSTEMS INC / USI Prism 350 #9092430 待售

ULTRON SYSTEMS INC/USI Prism 350是为所有光刻应用设计的先进、模块化和经济高效的光刻开发设备。此系统用于对晶片施加抗蚀剂,然后将其暴露在紫外线或可见光下。这使用户能够绘制抗蚀剂图案，然后蚀刻掉晶片暴露在光下的部分。由于其精确的剂量精度和先进的自动化性能，该装置在精确的抗蚀性涂层和细腻的抗蚀性图案方面提供了卓越的性能。它有一个晶圆机器人，用于将一盒晶圆放在晶圆吊舱上，以及提供精确分配和冲洗时间的精密抽水机。晶圆可以通过接触工具或接近工具暴露在光线下，然后集成的基板加热确保了一致的抵抗发展过程。该工具还包含用于清洁过程的精密蒸馏和过滤水源，以及用于精密抗蚀涂层的集成薄膜边缘，从而增强了环境保护。自动废物处理资产的设计是为了减少颗粒产生，同时冲洗。用户友好的图形用户界面进一步增强了功能,该界面提供了直观的工作流和预测诊断。溷合系统-包括接触和接近-结合了触摸屏技术，提高对准精度，扩大剂量范围和额外的解决能力。USI Prism 350光刻胶开发模型在经济高效的软件包中提供了灵活性、性能和易用性。它提供可靠和高效的生产，具有高吞吐量和一致的产量。凭借其广泛的功能和先进的自动化,此设备非常适合大批量生产过程以及在各种过程和应用中开发复杂、先进和精细的抗蚀剂。