二手 ULTRON SYSTEMS INC / USI UH 102-8 #9113171 待售

ULTRON SYSTEMS INC/USI UH 102-8是专为提高半导体可制造性和产量而设计的高性能、全集成光阻处理设备。它配置了两个功能强大的处理源和一个16位MicroH处理器。该系统采用前沿技术构建，集激光扫描和清洗于一体，最大限度地减少颗粒污染，确保优越的效果。该单元允许整合多种工作流程和应用多种蚀刻技术。其主要特点是有源基板图像稳定（ASIS）和为图样传输提供最高精度和可重复性的核心配准机。该工具还提供了出色的场均匀性、改进的阵列保真度、降低的平顶高度和减小的深度。整个封装包括集成的光源、光学滤波器、激光快门、光束遮蔽、薄膜运动机构、狭缝机构和气体输送子系统。该资产还提供了广泛的接触源，从广谱抵抗到先进光源。此外,USI UH 102-8还提供了多种选项,例如内部视图端口、集成的洁净室墙壁/设施、紫外线和激光源、手动/自动调整站、激光扫描模型和显微点掩码。自动薄膜和缝隙测量能力以及自动光束对准设备也确保了在各种应用中都能实现无错误曝光。ASIS机制自动校正小基板误差（即使在亚微米状态下也是如此），以确保准确的图像放置。此外，高性能光学器件和激光扫描技术确保了所有曝光的快速高效图像。总体而言,ULTRON SYSTEMS INC UH 102-8是一个出色的光刻胶处理系统,专为满足先进的半导体可制造性和产量目标的要求而设计。其先进的系统和技术确保了模式传输的卓越性能和可靠性。单位的高端特点也保证了高精度、可重复、低传播的效果。