二手 ULTRON SYSTEMS INC / USI UH 102-8 #9159218 待售

ULTRON SYSTEMS INC/USI UH 102-8是为生产高解析度微芯片、薄膜电子器件和其他微电子元件而设计的先进光刻设备。该系统利用深紫外线（DUV）曝光光刻工艺，提供了高度精确的临界尺寸（CD）控制。该单元配有大功率汞蒸气DUV光源、步进/扫描仪单元和电源单元，以及晶片级和掩模对准组件。它还包括多通道光学对准机、晶圆级和控制器。该工具可以在整个晶片上保持均匀的抗蚀性模式，并提供出色的长期稳定性和过程可重复性。内置在USI UH 102-8资产中的高级光学器件提供了卓越的控制能力,尤其是在线路狭窄且接触/通过尺寸较小的情况下。它的DUV源提供360nm-420nm的波长,确保根据特定的成像需求优化曝光水平。此外，封闭的晶片级以连续真空包围成像区域，使氧化和放气效应最小化。该模型的精密多轴机构设计用于支持尽可能小的CD成像设备的高速曝光。它的专有电源单元确保整个晶片的DUV曝光保持稳定和一致。此外，该设备还具有高级工艺自动化能力，包括故障、漂移和抖动补偿。操作员还可以调整曝光源参数，下调至亚微米级，并进行自动过程监控和控制。总而言之，ULTRON SYSTEMS INC UH 102-8是一款先进的光阻系统，旨在满足微电子制造的最高要求。它将精确的光学元件、自动化的特性和坚固的电源相结合,确保了以卓越的效率生产出最优质的元件。