二手 ULTRON SYSTEMS INC / USI UH 102 #293811556 待售

ULTRON SYSTEMS INC/USI UH 102是用于开发和制造高精度集成半导体器件的光刻设备。该系统包括一个精密抗蚀剂分发器、一个抗蚀剂剥离器、一个光致抗蚀剂吊舱、一个光学显微镜、一个热板和一个自旋速度计。抗蚀剂分发器可以将所需的光致抗蚀剂溶液精确分配到硅片上。热板可以均匀地加热晶片，抗蚀剂剥离器从晶片中除去任何不需要的光致抗蚀剂。光致抗蚀剂吊舱包含一个可见光源、一个冷凝器透镜和一个晶片支架的来源。显微镜用于可视化晶圆表面，自旋速度计记录晶圆的自旋速度。USI UH 102专为微加工工艺而设计，提供卓越的图样分辨率，提高边缘清晰度和光刻涂层光滑。该装置能够以最高的精度抽出和计量所需的光致抗蚀剂。其精密分配技术即使在高速下也能提供均匀一致的涂层。晶片经过精确的光学传输和扫描，确保了光刻胶的精确位置和厚度。热板提供了均匀的温度分布，从而消除了晶圆上的冷热点，而自旋速度计则精确地测量了自旋速度。ULTRON SYSTEMS INC UH 102利用精密软件精确测定光刻胶参数及其监测。这种复杂的软件允许高精度的阵列和快速的周转时间。机器的软件还能够记录和分析数据，允许对光刻胶过程进行深入分析。UH 102操作和维护简单,提供可靠性和成本效益。其先进的设计和技术允许清洁和高效的操作，质量的材料和组件。ULTRON SYSTEMS INC/USI UH 102还附带了旨在优化生产力和提高效率的附加配件。这些附件包括探测站、基板和通量储层。总之，USI UH 102是一种高精度、集成的光致抗蚀剂工具，在微加工过程中表现出色。它利用精密的软件来确保抵抗打印过程的准确性和一致性，从而避免常见的打印错误。其用户友好的设计和可靠的组件使其易于操作和维护,提供卓越的性能和成本效益。