二手 ULTRON SYSTEMS INC / USI UH 108 #293628721 待售
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ID: 293628721
晶圆大小: 6"-8"
Tabletop laminator, 6"-8"
Power supply: 115 VAC, 1 A, 50/60 Hz, Single phase.
ULTRON SYSTEMS INC/USI UH 108是一种光刻设备,利用现代光刻技术在电子工业中产生高质量和精确的图像。该系统利用紫外线在各类基板上选择性地曝光光刻胶薄膜,对光刻胶图样制作工艺不需要额外的开发步骤。该单元具有来自紫外线源的高度平衡的输出,并在最常见的光刻胶片中提供更清晰的图像。在灯输出处使用专利空间滤波器有助于降低衍射水平,从而提高图像清晰度和分辨率。在这台机器中,聚焦对准的光分布符合SEMI123/SEMI214/SEMI224标准,晶圆基板上的更高均匀度照明的改进设计。较大的光场和改进的角度控制有助于改善基板上的曝光均匀性。自动自动宏放大器(MAMM)和可选的位置补偿附件(PCA)可以方便地检查投影的光刻胶图像。这将有助于有效地减少人工检查所花费的时间,并减少基材暴露所花费的时间。USI UH 108专为大批量生产而设计,具有高精度、可重复的曝光校准规格。该工具校准整个晶片表面上的紫外线暴露水平,并在多个暴露水平上实现所需的轮廓。此校准过程的结果是永久的,因为它基于图像数据而不是时间。此外,资产还包括晶圆和薄膜压力控制模型,允许曝光设备在真空、恒压或空气下操作。该系统有助于进一步改善基板上暴露的均匀性,并减少任何潜在的暴露失调。ULTRON SYSTEMS INC UH 108是电子行业光敏装置的理想选择。它提供高精度、可重复的曝光校准规范和高度均匀的照明,以及真空、恒压或空气曝光选项。可选的检查设备进一步缩短了曝光时间,从而提高了准确性和图像质量。
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